潔凈室施工-潔凈室性能測試（氣流流型的檢測）

1、氣流流型的檢測包括氣流目測和氣流流向的測試。氣流目測可采用示蹤線法、發煙（霧）法和采用圖像處理技術等方法。氣流流向的測試一般采用示蹤線法、發煙（霧）法和三維法測量氣流速度等方法。
2、采用示蹤線法時可采用尼龍單絲線、棉線、薄膜帶等輕質纖維，放置在測試桿的末端，或裝在氣流中細絲格柵上，直接觀察出氣流的方向和因干擾引起的波動。
3、采有發煙（霧）法時，可采用去離子水，用固態二氧化碳（干冰）或超聲波霧化器等生成直徑為0.5~50μm的水霧，采用四氯化鈦（TiCl₄）作示蹤粒子時，應確保潔凈室、室內設備以及操作人員不受四氯化鈦產生的酸傷害。
4、采用圖像處理技術進行氣流目測時，由C.5.2得到的在攝像機或膜上的粒子圖像數據，利用二維空氣流速度矢量提供量化的氣流特性。圖像處理技術要求帶有適用的接口和軟件的數字計算機。
5、采用三維法測量氣流速度、采用熱球風速計或超聲風速計，檢測點選擇在關鍵工作區及其工作面高度。根據建設方要求需進行潔凈室（區）的氣流方向的均勻分布測試時，應進行多點測試，其測試點的選擇宜參照C.2中的方法選用。