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    無塵室潔凈度定期檢測及測量標(biāo)準(zhǔn)

    更新時(shí)間:2016-09-20  |  點(diǎn)擊率:2798

    無塵室潔凈度定期檢測及測量標(biāo)準(zhǔn)
    1、為了保證無塵室的潔凈度滿足工藝要求,必須定期對(duì)無塵室內(nèi)的潔凈度進(jìn)行檢測。
    2、檢測測試設(shè)備:激光粒子記數(shù)器。
    3、檢測周期:每周一上午、下午對(duì)各潔凈區(qū)域進(jìn)行一次檢測。
    4、檢測條件:靜態(tài)潔凈度測試。
    5、數(shù)據(jù)收集整理:將每次檢測的結(jié)果輸入監(jiān)控室的電腦中儲(chǔ)存,并在每個(gè)季度末(或下季度初)給各部門發(fā)該季度的潔凈度記錄圖表電子檔通報(bào)給各部門。
    6、各潔凈區(qū)域潔凈級(jí)別標(biāo)準(zhǔn):按照《半導(dǎo)體公司能源管理標(biāo)準(zhǔn)》要求執(zhí)行。
    潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)相當(dāng)于ISO級(jí)別等效于GB級(jí)別
    K-1系統(tǒng)劃片區(qū)域
    K-1系統(tǒng)改造前為靜態(tài)10萬級(jí) CLASS 7
    CLASS 8 CLASS 7
    CLASS 8
    K-2系統(tǒng)包封區(qū)域靜態(tài)30萬級(jí) CLASS 8.3 CLASS 8.3
    K-3系統(tǒng)搪錫區(qū)域靜態(tài)30萬級(jí) CLASS 8.3 CLASS 8.3
    K-4系統(tǒng)測試區(qū)域靜態(tài)30萬級(jí) CLASS 8.3 CLASS 8.3
    K-8系統(tǒng)電鍍區(qū)域靜態(tài)30萬級(jí) CLASS 8.3 CLASS 8.3





     

     

     

     

     


     

     

     

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