潔凈室中常被采用的空氣循環(huán)系統(tǒng)

（1）單獨(dú)空調(diào)器系統(tǒng)
循環(huán)空氣通過(guò)空調(diào)器進(jìn)行溫、濕度處理后以風(fēng)管直接分送至各HEPA過(guò)濾器，但不宜用于過(guò)濾器多的系統(tǒng)，空調(diào)器的風(fēng)量一般不會(huì)太大。另一種方式是用總風(fēng)管至靜壓箱，如有靜壓箱，宜用于過(guò)濾器多的系統(tǒng)，靜壓箱要求密封性好，以免污染物通過(guò)過(guò)濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴(yán)密處漏入至潔凈室，這一點(diǎn)對(duì)要求嚴(yán)的潔凈室是十分重要的，常設(shè)在靜壓箱上一層屋頂層內(nèi)，以減少送風(fēng)管長(zhǎng)度。一般每臺(tái)空調(diào)器的風(fēng)量30000-45000m3/h間，以控制噪聲過(guò)大，風(fēng)壓（氣壓）一般控制在650-700Pa以內(nèi)。
（2）軸流風(fēng)機(jī)豎井式布置，有壓靜壓箱
這種空氣循環(huán)系統(tǒng)主要用于大的IC工廠的潔凈室，由于其風(fēng)量大，過(guò)濾器多，每臺(tái)軸流風(fēng)機(jī)的風(fēng)壓常控制在400Pa左右，以適應(yīng)軸流風(fēng)機(jī)低風(fēng)壓、大流量下的運(yùn)行效率佳并控制其噪音。此系統(tǒng)的特點(diǎn)是綜合投資及運(yùn)行費(fèi)用較高，維護(hù)管理方便，但靈活性較有效期，另外有壓靜箱的缺點(diǎn)同上。
（3）FFU系統(tǒng)
FFU是近幾年發(fā)展起來(lái)的，在使用壽命及維護(hù)上已經(jīng)實(shí)踐證明無(wú)可擔(dān)心。其特點(diǎn)是靈活性大，便于改造，擴(kuò)展；占用建筑物空間較少；無(wú)壓回風(fēng)靜壓室，潔凈室內(nèi)風(fēng)壓大于它的，排除靜壓室對(duì)潔凈室漏入污染物。由于運(yùn)行時(shí)的靜壓一般皆在250Pa左右，因此要求系統(tǒng)總阻力（過(guò)濾器為初阻力）控制在165Pa左右，即整個(gè)回風(fēng)阻力（包括風(fēng)道、各種局部阻力等）控制在65Pa左右，過(guò)濾器初阻力控制在約100Pa，融就需再增設(shè)加壓風(fēng)機(jī)系統(tǒng)，這就降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點(diǎn)。
FFU單機(jī)風(fēng)量一般在1000-2000m3/h，由于小風(fēng)機(jī)所用小容量（功率<1/2Hp）的交流電機(jī)，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，因此運(yùn)行能效低，現(xiàn)多采用電子正流電機(jī)（無(wú)刷直流電機(jī)）其效率可達(dá)75-80%。解決了以往運(yùn)行能效低的問(wèn)題，在調(diào)整控制上，可每臺(tái)單獨(dú)或成組以過(guò)濾器壓降進(jìn)行控制以進(jìn)一步達(dá)到節(jié)能。FFU系統(tǒng)，可用于各行業(yè)的潔凈室，只要回風(fēng)系統(tǒng)阻力及過(guò)濾器阻力能合適控制，對(duì)小系統(tǒng)往往是可取的；對(duì)過(guò)濾器滿布率較低（如25%）左右的大面積潔凈室亦采用較多；對(duì)過(guò)濾器滿布率較高時(shí)一般往往是不經(jīng)濟(jì)的，滿布率高，意味著風(fēng)量很大，如控制系統(tǒng)阻力，回風(fēng)道要很大，往往在綜合經(jīng)濟(jì)上不可取，亦較難實(shí)現(xiàn)。