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電子潔凈室的設(shè)計特點有如下：
1、平面由工藝決定，電子工業(yè)潔凈廠房的工藝布局應適應電子產(chǎn)品發(fā)展的靈活性，滿足產(chǎn)品生產(chǎn)工藝改造和擴大生產(chǎn)的需求。
2、主體結(jié)構(gòu)宜采用大空間及大跨度柱網(wǎng)，不宜采用內(nèi)墻承重體系。
3、大型電子工業(yè)潔凈廠房常采用上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層這種“夾心”式多層構(gòu)造。
4、應考慮大型生產(chǎn)工藝設(shè)備的安裝、維修要求，設(shè)置必要的運輸通道和不影響潔凈生產(chǎn)環(huán)境的安裝口或檢修口。
5、電子工業(yè)潔凈室按二級耐火等級設(shè)計。
6、特種氣體的儲存和分配間應有耐火隔墻與潔凈室（區(qū)）分開，該墻耐火極限不低于1H。有毒的硅烷或其混合物氣瓶存區(qū)至少三面是敞開的，氣瓶與周圍構(gòu)筑物或圍欄之間的距離應大于3M，儲存區(qū)設(shè)置的雨篷應不低于3.5M。
7、電子工業(yè)潔凈室的裝飾材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品有影響物質(zhì)的材料。
8、電子工業(yè)潔凈室允許設(shè)空氣吹淋室，這是和一般生物潔凈室不同的。吹淋室應與潔凈工作服更衣室相鄰。單人吹淋室按大班人數(shù)為30人一間設(shè)計，當工作人員超過5人時，應設(shè)旁門，當人數(shù)太多或為了縮短通過時間，也可設(shè)遂道式吹淋室。
9、對于高級別潔凈室，為了盡可能不影響氣流的單向性、平行性，照明燈具采用凈化淚珠形燈具。
10、電子工業(yè)潔凈室常要根據(jù)生產(chǎn)工藝要求設(shè)置防靜電環(huán)境，以便抑制靜電的產(chǎn)生，將已產(chǎn)生的靜電迅速、安全的排除。
11、電子工業(yè)潔凈室友有對防微振的特殊要求，在廠地環(huán)境上應避開振動源。
12、電子工業(yè)潔凈室除有一般給排水要求外，對超大規(guī)格集成電路的用水也有標準。
電子潔凈室的環(huán)境參數(shù)：
參數(shù) | 數(shù) 值 | 說 明 |
截面風速/（M/S） | 0.3-0.5 0.2-0.4 | 潔凈度1-3級（ISO）潔凈室 潔凈度4-5級（ISO）潔凈室 |
換氣次數(shù)/（次/H） | 50-60 15-25 10-15 | 潔凈度6級（ISO）潔凈室 潔凈度7級（ISO）潔凈室 潔凈度8-9級（ISO）潔凈室 |
靜壓差/Pa | >5 >10 | 不同等級潔凈室之間以及潔凈室與非潔凈室 之間潔凈室與室外之羊 |
溫度/℃ | 18-22 16-20 按具體工程項目要求24-26 26-28 按具體工程項目要求 | 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 人員凈化及生活用房 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 |
相對濕度/% 冬 夏 | 30-50 按具體工程項目要求 50-70 按具體工程項目要求 | 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝無要求時的生產(chǎn)環(huán)境 工藝有要求時的生產(chǎn)環(huán)境 |
新風量/[M3/（人.H) | 40 | |
噪聲/DB(A) | <65 | 單向流及單向流與非單向流并存的潔凈室 |
照度/lX | 300-500 200-300 | 非單向流潔凈室主要生產(chǎn)用房(有低照度要求的如光刻、顯示器件等除外） 其它用房 |
照度均勻度 | 0.7 | |
靜電表面電阻率 | 1*105—1*1010 | 一級標準為1*105—1*107 |
靜電體積電阻率 | 1*104-1*109 | |
地面對地的漏泄電阻 | *105-1*108 | |
靜電壓 | <50(45%相對濕度) | 4級(ISO)以上潔凈室 |
振動速度 振動加速度 振幅 相對位移量 | 根據(jù)工藝或精密設(shè)備、儀器儀表特性確定或參照國標《隔振設(shè)計規(guī)范》 | |
電磁干擾 | 4級(ISO)以上潔凈室，當潔凈室靠近高壓輸配電設(shè)施時尤為重要 |
當前位置：