潔凈室靜電測試

潔凈室內往往存在著不容忽視的靜電危害，是導致電子器件、電子儀器和設備損壞或性能下降的重要因素之一，對芯片制造影響尤為重要。此外，靜電還是潔凈室在生產過程中有易燃易爆氣體或粉塵產生時，導致爆炸、火災的元兇以及存在電擊傷人的隱患。潔凈室靜電對塵埃的吸附效應，也易造成生產環境和產品各個壁面的塵埃聚集，以致影響潔凈室的環境和產品被污染。
1、相關的規范規定
潔凈室相關規范對靜電防護問題，從設計到運行都有具體的規定。例如，潔凈室設施應選用既不會產生也不能蓄積大量靜電的建筑材料。為保護對靜電敏感的設備、器件、地面，電阻應該在104～107Ω范圍內，表面聚集電荷的限定值應小于2kV等等。
國家標準GB 50073-2001《潔凈廠房設計規范》規定：潔凈室地面層應具有導電性能并保持長時間穩定。潔凈室地面表層應采用靜電耗散性材料，其表面電阻應為1.0*105～1.0*1012Ω或體積電阻率為1.0*104～1.0*1011Ω.cm。潔凈室地面應設有導電泄放措施和接地構造，其對地泄放電阻應為1.0*105～1.0*109Ω等等。
2、靜電測試方法
靜電測試通常包括兩部分內容，一是靜電測試本身，其目的是掌握產品表面上的靜電電荷和地面、工作臺面或其它設施的靜電電壓的耗散率；二是離子生成器測試，其目的是通過監測器測量初始充電的放電時間和通過測定隔開來的監測板的補償電壓來評估其性能。上述兩部分測量結果都能反映清除或中和靜電荷的效率和產生的正負離子量間的不穩定性。
（1）表面電壓水平的測量
通常采用靜電電壓計或場強計測定設備和產品表面的正負靜電荷，具體方法是把靜電電壓計或場強計的輸出調節為0，按儀器說明書規定，讓探測器面朝接地的金屬板，探測頭保持使測孔平行于所規定的某個距離處放置的板，記錄下靜電電壓計的讀值。
（2）靜電耗散性的測量
通過測量表面上不同位置之間的電阻—表面電阻和表面和地面之間的電阻—漏電電阻，來評定靜電耗散特性。一般采用高電阻計來測量。
（3）離子生成器測試
本項測試的目的是用以評估雙級離子生成器的性能，測試內容為測試放電時間和補償電壓，放電時間將用以計算離子生成器消除電荷的效率，補償電壓將用以評估在離子生成器生成的離子化氣體中，正負離子的不穩定性。離子的不穩定性會造成不利的殘余電壓。
測量工作由稱之為“充電板監測器”的設備完成，該設備由導電監測板、靜電電壓計、計時器和電源等構成。
（4）放電時間的測量
采用已知電容，例如20pF的絕緣導電板作為監測板。開始時用電源給監測板充電并達到已知的正或負電壓，隨后將監測板暴露在被評估的雙級離子生成器所離子化的氣體中，用靜電電壓計測量充到板上的靜電荷，同時以計時器配合測量板上電壓隨時間的變化。
放電時間的定義是：監測板上的靜電荷減少到100%初始電壓所需的時間。由用戶和供應商協商確定作為驗收標準的測試點的位置和測定結果。
（5）補償電壓的測量
采用類似的監測板裝在絕緣器上，用靜電電壓計監測絕緣板上的電荷，以測量補償電壓。開始時，將監測板接地，去除殘余電壓，確認板上的電壓為0，隨后把板暴露在離子化的氣體中，直到電壓計的讀數穩定，該值即為所測的補償電壓。離子生成器的允許補償電壓，決定于工作區的物體對靜電荷的敏感性，所以允許的補償電壓應由用戶與供應商協商確定。
（6）測試報告
1）儀器使用者或數據采集設備的名稱；
2）測試儀器的名稱及其校準狀態；
3）測試和測量類型及其測量條件；
4）溫度、濕度和環境數據；
5）測點位置；
6）潔凈室檢測時所處的狀態。