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| 文件名 | 題目 | 狀態 | 簡介 |
| ISO14644-1 | 通過顆粒物濃度對空氣潔凈度進行分類 | 2015 | 涵蓋潔凈室及其相關受控環境中的空氣潔凈度分類 |
| ISO14644-2 | 監測通過顆粒濃度提供與空氣潔凈度相關的潔凈室性能的證據 | 2015 | 監控和定期測試潔凈室或潔凈區的要求，以證明其繼續符合ISO14644-1 |
| ISO14644-3 | 測試方法 | 2005 | 用于表征潔凈室和潔凈區性能的空氣顆粒潔凈度分類的測試方法 |
| ISO14644-4 | 設計、建造和啟動 | 2001 | 潔凈室安裝的設計和構造要求 |
| ISO14644-5 | 運營 | 2004 | 潔凈室運行的基本要求 |
| ISO14644-7 | 分離裝置（清潔空氣罩、手套箱、隔離器和微環境） | 2004 | 分離設備的設計、構造、安裝、測試和批準的低要求 |
| ISO14644-8 | 按化學物濃度（ACC）分類的空氣潔凈度 | 2013 | 涵蓋潔凈室及其相關受控環境中氣態分子污染物（AMC）的分類 |
| ISO14644-9 | 通過顆粒物濃度對表面清潔度進行分類 | 2012 | 通過潔凈室及其相關受控環境中的顆粒物濃度確定固體表面潔凈度等級的分類 |
| ISO14644-10 | 按化學物濃度對表面清潔度進行分類 | 2013 | 根據化學化合物或元素的存在情況定義潔凈室表面潔凈度的分類系統 |
| ISO14644-12 | 通過納米級顆粒濃度監測空氣潔凈度的指南 | 2018 | 根據懸浮納米級顆粒物濃度的空氣潔凈度的監測 |
| ISO14644-13 | 對表面進行清潔以便達到規定的顆粒物和化學物潔凈度 | 2017 | 用清潔劑處理潔凈室表面、潔凈室設備表面和潔凈室中材料表面的特定清潔程度 |
| ISO14644-14 | 根據懸浮顆粒物濃度評估設備使用的適用性 | 2016 | 設備在潔凈室和相關受控環境中適用性的評估方法 |
| ISO14644-15 | 通過懸浮化學物濃度評估設備和材料的適用性 | 2017 | 將用于潔凈室及其相關受控環境中的設備和材料引起的化學物潔凈度提出要求和指南 |
| ISO14644-16 | 提高潔凈室和凈化設備能效的實施指南 | 2017（在編） | 為新建和現有的潔凈室、潔凈區和分離設備提供優化能源使用和保持能源效率的指導和建議 |
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