電子潔凈室靜壓差的檢測方法

（1）檢測要求
①靜壓差的測定要求在潔凈區(qū)內(nèi)的所有的門全部關(guān)閉情況下進行。
②在潔凈室平面上應(yīng)從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。
③測管口設(shè)在室內(nèi)沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。
④所測量記錄的數(shù)據(jù)應(yīng)到O.lPa。
（2）普通傳遞窗檢測方法
①先關(guān)閉所有的門。
②用微差壓計測量各潔凈室之間、潔凈室走廊之間、走廊與外界之間的壓差。
③記錄所有數(shù)據(jù)。
（3）測量儀器采用YJB-150補償微壓計，量程0—1 500Pa或其他微壓力計，儀表靈敏度小于O.lPa。
（4）合格標準按照傳遞窗原理潔凈室設(shè)計或工藝要求決定維持被測潔凈室的正壓或負壓值。
①不同級別的潔凈室或潔凈區(qū)與非潔凈室（區(qū)）之間的靜壓差，應(yīng)不小于4.9Pa。
②潔凈室（區(qū)）與室外的靜壓差，不應(yīng)小于9.8Pa。
③對于空氣潔凈度等級嚴于5級（100級）的單向流潔凈室在開門時，門內(nèi)0.6m處的室內(nèi)工作面含塵濃度應(yīng)不大于相應(yīng)級別的含塵濃度限值。
④若達不到以上標準的要求，應(yīng)重新調(diào)整新風(fēng)量、排風(fēng)量，至合格為止。